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フープ内のウェハの有無・飛出し・傾き検出
ウェハの有無・飛出し・傾きをBGS-HDLシリーズ2台で検出します。
BGS-HDLシリーズは制御出力を2系統装備しているので、出力1でウェハの有無、出力2で飛出しを検出可能。ウェハの傾きは、左右センサの出力1のON/OFFタイミングで判定することが可能です。
使用製品高精度C-MOSレーザセンサBGS-HDLシリーズ

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