透明体測定
搬送ロボットのアーム垂れ計測
変位センサCD2Hシリーズでロボットアームの垂れを計測します。
CD2Hなら、最長1,200mmまでの長距離計測が高精度に可能。さらにIO-Link対応のため、かんたんに、より正確な測定値の取得を実現しました。
使用製品有機EL搭載C-MOSレーザ変位センサCD2Hシリーズ
液晶ガラスの厚み測定
正反射型のCD5-L25ならガラス表面までの距離ではなく、ガラスの厚みも安定して測定可能です。
使用製品高性能マルチレーザ変位センサCD5-L25
透明フィルムの厚み測定
透明フィルムやシート材の厚みをレーザ変位センサCD5-LW25で測定します。
フィルムやシート材が透明であっても繰返精度0.02μmと高精度で測定可能。
2台のセンサヘッドを対向設置し演算設定を行うことで、安定した測定が行えます。
使用製品レーザ変位センサCD5-LW25
ガラス表面検査カメラのフォーカス
ガラス表面検査用カメラのフォーカス用にレーザ変位センサCD5-W30を使用します。
CD5の正反射モードなら、ガラス表面と裏面を正しく分離可能。ガラス表面までの距離を正確に計測することで、カメラを正確にフォーカスさせることが可能です。
使用製品レーザ変位センサCD5-W30
液晶ガラスの歪み測定
レーザ変位センサCD5-L25で液晶ガラスの歪み計測を行います。
正反射型のCD5-L25なら透明ガラスでも繰返精度0.02μmで測定可能。各変位センサのピーク値とボトム値を演算することにより、歪み量の高精度測定を実現します。
使用製品高性能レーザ変位センサCD5
修正装置用顕微鏡のフォーカス
レーザ変位センサCD33-L30でガラス基板までの距離を測定し、顕微鏡の焦点合わせを行います。
CD33の繰返精度はわずか1μm 。ローコストでの焦点合わせを実現します。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33
