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C-MOSレーザ変位センサ
CD33シリーズ

コストハーフを実現する
組込用レーザ変位センサ

  • 鏡面体・透明体用の正反射型とRS-422タイプもラインナップ
  • アンプ内蔵! しかも超軽量!
  • 精度と測定安定性を徹底追求!
  • 三菱電機・シーケンサに直接つながるコントロールユニット

アプリケーション

基板の反り測定
実装部品の高さ測定

ゴムシートの継ぎ目検出
建材ボードの厚み測定

マスク高さ制御とガラス基板厚み測定(正反射型)
露光装置露光ヘッドZ軸制御(正反射型)

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