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HOME > 製品情報 > 変位センサ > CD33シリーズ > 特徴

C-MOSレーザ変位センサ
CD33シリーズ

コストハーフを実現する
組込用レーザ変位センサ

  • 鏡面体・透明体用の正反射型とRS-422タイプもラインナップ
  • アンプ内蔵! しかも超軽量!
  • 精度と測定安定性を徹底追求!
  • 三菱電機・シーケンサに直接つながるコントロールユニット
鏡面体や透明体の測定用に

正反射型をラインナップに追加

ワークがガラス等の透明体の場合やウェハ等の鏡面体でも測定が可能な正反射型を新たにラインナップ。拡散反射型では
測定が困難な透明体・鏡面体でも、安定した測定が可能になりました。

アプリケーション:マスク高さ制御とガラス基板厚み測定
正反射型の変位センサCD33-L30で、マスクの高さを制御するとともにガラスの厚みを測定します。マスクまでの距離を3点測定し最適な高さに調整、その後ガラス基板がその上を通過するときに厚みを測定します。透明度の高いガラス基板なら変位センサ2台で挟み込んで測定しなくても安定した厚み測定が可能です。

厚み測定も可能
透明体を測定する場合、正反射型では表面の変位量だけでなく、厚みも測定することが可能です。
右図のようにレーザ光を斜めに照射すると、ガラスの表面からと裏面からの2つの反射光が受光素子上に発生します。
この2つの反射光のピーク間を測定することにより、厚みが測定可能となります。



三菱電機シーケンサに直接つながる

三菱電機MELSEC-Qシリーズに接続できる変位センサコントロールユニットUQ1-02誕生 !通信設定が一切不要な上、専用ソフトウェア「UQ1 Navigator」により、誰でもカンタンに短時間で設定することが可能です。
※CD33シリーズのRS-422タイプで使用可

コントロールユニットUQ1-02はこちら



独自のビルトイン技術でアンプ内蔵!しかも超軽量!

アンプやコントローラの機能を全てセンサヘッドに一体化。制御盤への設置スペースを考慮する必要はありません。しかも約65gと超軽量設計!チップマウンタやロボットアーム等の可動部への搭載も可能になりました。



サブピクセル処理と自動感度切換機能で

精度と測定安定性を徹底追求!

真の波形を認識するサブピクセル処理
C-MOS素子の1画素を細分割して認識するサブピクセル処理を採用。真の波形を正確に捉えることにより、ワークまでの距離を正確に測定することが可能になりました。分解能も2μm※と高精度な変位量測定にも対応可能です。
※CD33-30N□での値

ワークの材質や色の影響に強い高精度感度切換機能
ワークの反射率にあわせてシャッターの開度を自動で切換。受光量を制御し、常に最適な感度に補正することで、色や材質の違いによる誤差を極限まで小さくすることに成功しました。



小型・軽量65g

装置組込に最適

当社従来比約50%の軽量化を達成!可動部に取り付け時のロボ・シリンダへの負担を軽減します。
もちろん防水性もIP67をクリアしています。



誰でも簡単操作

直感操作が可能な操作パネル

操作はSETボタンとSELECTボタンだけのシンプル設計。現在設定中の機能は、設定項目別に配置されたLEDが点灯するので、直感的な操作や設定が可能になりました。



個別に検出範囲を設定できる

高精度制御出力を装備

応差はわずか0.15%F.S.!距離設定型のセンサの10~30倍の高精度(当社比)で、最高12μm※の段差判別が可能です。もちろんコンパレータ出力としても設定が可能です。
※CD33-30N□での値



様々な機能が設定できる

マルチファンクション入力“MF”

レーザ放射停止、外部ティーチ※、測定値ホールド、ワンショットトリガ測定が選択できるマルチファンクション入力を装備。アプリケーションにあわせた設定が可能です。
※外部ティーチ時に設定可能な機能は、次ページ仕様の表の脚注を参照ください。



不要な回路を省略しローコスト化

出力別ラインナップで高いコストパフォーマンスを実現

複数種の測定値出力を持つ変位センサが多くを占める中、「アナログ電流+2ch制御出力型」、「アナログ電圧+2ch制御出力型」および「RS-422+制御出力型」と入力機器に応じて選べる機種をラインナップ。不要な回路を省略することで、クラス最高レベルのコストパフォーマンスを実現しました。高精度ながらローコストで手軽に導入できるレーザ変位センサです。

アナログ電流+ 2 c h制御出力型
アナログ電圧+ 2 c h制御出力型
R S - 4 2 2 +制御出力型

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