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レーザ変位センサ

コンパクトで高精度、進化した安定測定を。 有機EL搭載コンパクトレーザ変位センサ CD2Sシリーズ

高さ・厚みの測定、反りや歪み・振れの測定、ある位置から他の位置へ移動した際の変位量の測定、幅・蛇行制御、段差判別など。レーザ光にて非接触で安定測定する変位センサ(変位計)。

レーザ変位センサ

ローコストからハイエンドまで、繰返精度に応じたバリエーション。測定対象物を選ばず汎用性の高い光学式(レーザ)の変位センサです。

ラインアップ比較表

CDXシリーズ CD2Hシリーズ CD2Sシリーズ CD22シリーズ CD5シリーズ CD33シリーズ
投光光源 クラス1レーザ クラス1レーザ
(CD2H-30、50)
クラス2レーザ
(CD2H-245、350、700)
クラス1レーザ クラス1レーザ
(CD22-15、CD22-35)
クラス2レーザ
(CD22-100)
クラス2レーザ
(CD5-Lはクラス1/
CD5-W2000は
クラス3R)
クラス2レーザ
受光素子 C-MOSリニア
イメージセンサ
C-MOSリニア
イメージセンサ
C-MOSリニア
イメージセンサ
C-MOSリニア
イメージセンサ
C-MOSリニア
イメージセンサ
C-MOSリニア
イメージセンサ
構造 アンプ内蔵 アンプ内蔵 アンプ内蔵 アンプ内蔵 アンプ分離 アンプ内蔵
繰返精度 0.1μm~ 0.1μm~ 2μm~ 1μm~ 0.2μm~ 2μm~
リニアリティ ±0.015%~±0.03%
of F.S.
(型式による)
±0.1%~±0.3% of F.S.
(型式による)
±0.1%~±0.3% of F.S. ±0.1% of F.S. ±0.05%~±0.1%
of F.S.
(型式による)
±0.1%~±0.3% of F.S.
(型式による)
サンプリング周期 12.5μs~1ms、Auto
(8段切換)
133.3〜5000μs、Auto
(9段切替)
333μs~16ms、Auto
(8段切換)
500〜4000μs、Auto
(5段切換)
100〜3200μs
(6段切換)
500[750]〜2000μs
(4段切換)
[ ]はCD33-250

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