変位センサをオンラインの検査装置に組み込む場合、1日10時間以上の稼働が考えられる。室温が完全に制御されている場合を除き、変位センサの周囲温度は少なくとも数℃の変化はあると考えられる。一般的な変位センサの場合、1℃あたり測定レンジの±0.01%の温度ドリフトがある。測定レンジ10mm のモデルの場合、±1μm/℃となる計算である。

材質とする場合がほとんどであり、さらにアルミは1℃1mあたり23μmの伸縮がある事が分かっており、つまり温度変化により変位センサ内のレーザやレンズ、受光素子の位置関係が僅かながら変化する事で、測定値に影響を与えているのである。この誤差を原理的に対策することは現時点では困難である。

この誤差対策するには、多くの変位センサが持っているゼロリセット機能を使い、定期的に基準ワークなどで校正を⾏う、もしくは全てのワークの測定位置とベース⾯の両⽅を測定し、その差をとる事で事実上、温度特性をキャンセルする、などの使いこなし⾯での対応が必要となる。

このように、変位センサの測定誤差には、ユーザー側の使いこなしで改善できるもの、メーカーの新機能、新技術で改善するものがあるが、変位センサの筐体や取付⾦具の温度による伸縮のように、現時点では改善が困難なものも存在する。我々は、温度変化の影響を受けにくい素材、構造などをこれからも研究し、ユーザーに更なる高精度測定を⾏って頂ける製品開発を目指していく所存である。