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HOME > 技術情報 > 光電センサ工程改善集 > 光電センサ工程改善集-半導体業界

半導体業界

フープ内のウエハの有無・飛出し・傾き検出
ウエハの有無・飛出し・傾きをBGS-HDLシリーズ2台で検出します。
BGS-HDLシリーズは制御出力を2系統装備しているので、出力1でウエハの有無、出力2で飛出しを検出可能。ウエハの傾きは、左右センサの出力1のON/OFFタイミングで判定することが可能です。
使用製品高精度C-MOSレーザセンサBGS-HDLシリーズ
シリコンウエハの乗り上げ検出
シリコンウエハのステージへの乗り上げをBGS-HDLシリーズで検出します。
乗り上げた場合、高さが最大で5mm程度変化しますが、BGS-HDLシリーズなら0.08㎜の段差でも高精度に検出することが可能です。
使用製品高精度C-MOSレーザセンサBGS-HDLシリーズ
長距離ウェハ検出
長距離レーザBGSセンサTOF-Lで、ウェハがロボットハンドに載っているかどうかを検出します。
ウェハの通過高さが高くても低くても、反射型で0~4.5mと広範囲検出が可能なTOF-Lなら安定した有無検出が可能です。
使用製品長距離レーザBGSセンサTOF-L
ウェハフレームのエッジ検出
BGS-HLでウェハフレームのエッジを検出します。
BGS-HL25T2は、距離250mmでもスポット径φ1mmと小スポットを達成。ウェハフレームのような薄いワークでも長距離から検出することが可能です。
使用製品高精度C-MOSレーザセンサBGS-HL
ウェハの重なり検出
BGS-HLでウェハの2枚重なりを検出します。。
ワークの反射率に合わせて常に最適な感度で検出する高分解能電子シャッターを採用しているので、ウェハのような反射率が極端に高いワークでも安定した検出が可能です。
使用製品高精度C-MOSレーザセンサBGS-HL
オリフラ検出
ミニチュアBGSセンサWT2Sでウェハのオリフラを検出します。
サイズは指先より小さくても距離で検出するBGS機能を装備しているので、ウェハのような鏡面体でもオリフラを安定して検出することが可能です。
使用製品ジック/ミニチュアBGSセンサWT2S
ガラスウェハノッチ検出
限定反射型のファイバユニットを使用し、ノッチ部分でティーチングします。限定反射型なので、背景があってもウエハだけを検出可能です。
使用製品ファイバユニットNF-DC38
ガラス・シリコンウェハ上限検出
透過型サイドビューのファイバユニットを使用し、ワークなしでティーチングします。投光角:約3°と狭光芒ですので光の回り込みを最小限に抑えた設計です。
使用製品ファイバユニットNF-TG04
ガラス基板のはみだし検出
同軸反射設計でスポット径は約φ2mm(距離2mにて)を達成。透明度の高いガラス基板のはみだしも見逃しません。また、センサアンプのD2SAの透明体ティーチングで簡単に、かつ最適な値に感度を調整できます。
使用製品デジタルアンプ分離レーザセンサDSR-800
ウェハのカウント
ウェハがカセットに規定枚数搭載されているかどうかをカウントします。距離2mでφ2mmと直進性が高いので光の回り込みもなく、安定した枚数カウントが可能です。
使用製品デジタルアンプ分離レーザセンサDSTC-200
フープの通過検出
検出範囲内に不感帯がなく、確実な検出が可能です。
使用製品透明体センサKR-Q50NW
リードフレームの検出
スクリーン式のNF-DZ01でリードフレームを検出します。帯状の光で検出するので穴の影響なく検出可能です。
使用製品スクリーン・アレイNF-DZ01
ガラスウェハの検出
NF-TH06は光軸が45°斜めになっており、さらに投光ファイバと受光ファイバのスリーブ長を異なる長さにしてあるので、すっきりとした設置が可能です。
使用製品耐熱 スリーブ(サイドビュー)NF-TH06
腐食環境でのウェハ検出
耐薬品仕様のNF-TY02は、ファイバ全体をフッ素樹脂でコーティング。腐食環境でのウェハ検出を可能にしました。
使用製品耐薬品NF-TY02
フープの着座確認
限定反射型のNF-DC38を使用し、ガラス基板の着座を検出します。限定反射型なのでフープが透明でも安定した検出が可能です。
使用製品限定反射NF-DC38
ウェハマッピング①
狭視界仕様のNF-TG02は開口角2°と超狭視界。光の回りこみがほとんどないので、ウェハ1枚1枚を確実に検出します。
使用製品狭視界・ウェハマッピングNF-TG02
ウェハマッピング②
限定反射型のNF-DC03を使用し、ウェハマッピングをします。0.5mm厚のウェハまで検出可能です。
使用製品限定反射NF-DC03
透明パイプでの液面検出
液面検出用のNF-DF07は光学系にアレイ式を採用。気泡や水滴の影響を受けない安定した液面検出が可能です。
使用製品液面・漏液・水検出NF-DF07
チャンバ内の搬送トレイ検出
チャンバ内の搬送トレイを透過型レーザセンサZT-L3000Nで検出します。
レーザ光により小スポットで検出が可能なので、高精度位置決めが可能です。
使用製品アンプ内蔵レーザセンサZT-L3000N
シリコンウェハ2枚検出
ファイバセンサD3IFでシリコンウェハが1枚か2枚かを検出します。
投光素子に特殊な1.45μmの波長で投光するLEDを採用。シリコンウェハを光がほどよく透過するので、1枚/2枚を容易に判別することが可能です。
使用製品ファイバセンサNF-TW01+D3IF
フィルム2枚判別
ファイバセンサD3IFと専用透過型ファイバNF-TW01でフィルムの1枚/2枚判別を行います。
D3IFに採用している赤外LEDは、波長1.45μmとフィルムに吸収されやすい波長を使用しているので、フィルムやシート材が透明であっても1枚/2枚を確実に判別することが可能です。
使用製品液面・漏液・水検出NF-TW01
回転テーブル回転数管理
太陽電池基板の成膜工程で、テーブルの回転数を超高速ファイバセンサD3RFで検出します。
D3RFの応答時間は業界最高の16μs。テーブルを高速で回転させても安定した検出が可能です。
使用製品デジタルファイバセンサD3RF
洗浄工程のウェハ検出
耐薬品仕様のW4Tは、ハウジング全体をフッ素樹脂でコーティング。腐食環境でのウェハ検出を可能にしました。
使用製品フリー電源・端子台タイプV4T