重なり・はみ出し検出 / 半導体

シリコンウェハ2枚検出

シリコンウェハ2枚検出

ファイバセンサD3IFでシリコンウェハが1枚か2枚かを検出します。
投光素子に特殊な1.45μmの波長で投光するLEDを採用。シリコンウェハを光がほどよく透過するので、1枚/2枚を容易に判別することが可能です。

使用製品

ファイバユニット NFシリーズ 液面・漏液・水検出タイプ

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使用製品

デジタルファイバアンプ D3RF/D3IFシリーズ

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