重なり・はみ出し検出 / 半導体

ウェハの重なり検出

ウェハの重なり検出

BGS-HLでウェハの2枚重なりを検出します。
ワークの反射率に合わせて常に最適な感度で検出する高分解能電子シャッターを採用しているので、ウェハのような反射率が極端に高いワークでも安定した検出が可能です。

使用製品

高精度C-MOSレーザセンサ BGS-HL/BGS-HDLシリーズ

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