電子部品・半導体業界 テーマ別センサ活用提案集

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マッピング編

④【BGSセンサ(距離設定型)】

センサをウェハに近づけられません。
ウェハからできる限り離して検出したいのですが、
何かよいものはありますか?

【ご提案内容】
高精度C-MOSレーザセンサ「BGS-HDLシリーズ」ならセンサとウェハをMax.250mm離してもマッピングが可能。
レーザ光源なので、薄いウェハも検出が可能。
【オプテックス・エフエーの強み】

・高精度C-MOSレーザセンサ「BGS-HDLシリーズ」は金属の傾きに強く、安定してウェハの端面を検出可能。

・2出力なので、1台でマッピングだけでなく、飛び出しも同時に検出可能。

・半導体洗浄装置での実績も豊富。これまでの知見を活かし、お客様へご提案させて頂きます。

【ご提案する製品】
種類 形状 検出距離 制御出力 レーザクラス
(JIS/IEC)
型式 標準価格(税別) 詳細ページ
C-MOS
レーザ
2出力 CLASS1 BGS-HDL05T 34,000円
2出力 CLASS2 BGS-HDL25T2




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