電子部品・半導体業界 テーマ別センサ活用提案集

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マッピング編

②【限定反射型マッピングファイバユニット】

ウエハ搬送ロボットにマッピング用センサを付けたい。
透過型が設置できないので、反射型ファイバセンサで
何か良いセンサはありませんか?

【ご提案内容】
限定反射型マッピングファイバセンサNF-DC03なら、ウエハ端面を安定して検出が可能。
シリコンだけでなく、ガラスなどの透明体も検出できます。
【オプテックス・エフエーの強み】

・限定反射型なので、シリコンやガラスなど材質を選ばずに検出が可能です。

・IO-Linkをはじめとして、CC-LinkやEtherCAT、EtherNet/IPなどの各種通信対応機器をラインアップ。
安定検出だけでなく、通信を活用したデータ収集などのご提案が可能です。

・半導体洗浄装置での実績も豊富。これまでの知見を活かし、お客様へご提案させて頂きます。
※0.5mm厚まで検出が可能です。

【ご提案する製品】
型式 図面 内容 使用周囲温度 最小曲げ半径 標準価格(税別) 詳細ページ
NF-DC03 限定反射型
フリーカット
-40~+60℃ R25mm 16,400円

 ③【限定反射型アライメントファイバユニット】



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