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HOME > 技術情報 > LED照明・電源 工程改善集 > LED照明・電源 工程改善集-マスクの異物検査
マスクの異物検査
マスクの異物検査
マスクの異物を検査します。
高輝度バー照明OPBを2台使ってマスク表面の異物の有無を検査します。ローアングルから照射するとマスク表面の凹凸が強調されて異物と区別できません。ハイアングルから照射することで、様々な角度から均一に照射でき、マスクの凹凸の影響を抑えて異物のみを抽出可能です。

撮像例

ローアングル

浅い角度から照射されると
凹凸で影が発生する

ハイアングル

様々な角度から光が当たり、
凹凸の影響が抑えられる



使用製品センシングバー照明OPBシリーズ