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HOME > 技術情報 > 変位センサ工程改善集 > 変位センサ工程改善集-反り・歪み測定

反り・歪み測定

ガラス基板のソリ測定
レーザ変位センサCDXシリーズでガラス基板のソリを測定します。
正反射型のCDX-L15なら、透明なガラス基板でも0.01μm単位でソリを測定可能。またサンプリング周期はMax.12.5μsと高速測定が可能ですので、従来機種比で8倍の高速サンプリングを実現しています。
使用製品超高精度レーザ変位センサCDXシリーズ
直動ガイドの反りと曲がり量計測
形状測定センサLS-100CNで直動ガイドの反りと曲がりを検査します。
通常の変位センサでは、2台設置するか方向を変えて2回スキャンする必要がありますが、高さと幅を同時に計測できるLSなら1台で1度に計測することが可能です。
使用製品形状測定センサLS-100CN
搬送ベルトの幅と反り測定
搬送ベルトの幅と反りを検査します。
搬送ベルトは材質が柔らかく、しかも動いている状態で測定しなくてはならないので接触式での測定は困難です。また通常の変位センサは点での測定となるため、複数台で測定してもヌケがあります。
LSシリーズならライン光での非接触測定なのでヌケなく測定することが可能。また安価な上、1台でかんたんに測定がすることができます。
使用製品形状測定センサLS-100CN
ガラス板のうねり量計測
レーザ変位センサCD5-W85を複数台使用し、透明なガラス板のうねり量を測定します。
CD5-W85は透明体も測定できる正反射型モードを搭載しているので、ガラス板でもうねりや厚みを高精度に測定可能です。
またアンプの演算機能を使用すれば、手間のかかる多点計測の演算設定も短時間で簡単に行えます。
使用製品レーザ変位センサCD5-W85+CD5A-N
太陽光パネルの風圧変形試験
太陽電池パネルの風圧試験装置で、負荷をかけたときのパネルの歪みをレーザ変位センサCD33-250N□で測定します。
CD33-250N□なら距離400mmまで、繰返精度75μmで測定可能。パネルの歪みを長距離から正確に測定することが可能です。また標準価格も98,000円と非常に低価格なので、装置のローコスト化を可能にしています。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33
基板の反り測定
CD33は受光素子に最新のC-MOS素子を採用。基板の反りを高精度に測定します。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33-30N□
基材シート反り計測
多層基板の基材シートを積層する際のたわみ量を計測し、最適なテンションでチャックするように制御します。
レーザ変位センサCD5-85なら繰返精度1μmで計測可能。四隅をチャックした際の、たわみ量を正確に制御することが可能です。
使用製品レーザ変位センサCD5-85