反り・歪み・たるみ・蛇行検出 / 半導体

基板の浮き検出

基板の浮き検出

レーザ変位センサCD33で基板の浮きを検出します。
受光素子にC-MOS素子採用し、サブピクセル処理と自動感度切換機能の相乗効果により、基板の色の影響に強い安定した検出が可能です。

使用製品

C-MOSレーザ変位センサ CD33シリーズ

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