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HOME > 技術情報 > 変位センサ工程改善集 > 変位センサ工程改善集-サイズ測定

サイズ測定

窓ガラスを通して高温炉内物体の測定
高温で白熱状態にある物体の寸法を、レーザマイクロゲージLMGシリーズで測定します。
1000℃を越える高温物体の高精度寸法測定は接触式では不可能に近く、またレーザを使用した測定器でも高温になるにつれて強力になる測定物体からの自発光が受光部に入射するので測定が困難です。
LMGシリーズでは高温物体測定用レーザマイクロゲージをラインナップしているので、最高約2400℃までの高温ワークの測定が可能。従来では測定が難しかったセラミックや金属等の材料の高温熱膨張、熱変形の測定にご使用いただけます。
使用製品レーザマイクロゲージLMGシリーズ
複数本のベルト幅の測定
レーザマイクロゲージLMGシリーズでベルト幅の測定を行います。
測定範囲は最大で150mmのモデルをラインナップしているので、1台で複数本のワークの幅の同時測定が可能。150mmモデルでも繰返精度±2μmと高精度での測定が可能です。
使用製品レーザマイクロゲージLMGシリーズ
複数本のワイヤー径の測定
レーザマイクロゲージLMGシリーズでワイヤー径の測定を行います。
測定範囲は最大で150mmのモデルをラインナップしているので、1台で複数本のワークの幅の同時測定が可能。150mmモデルでも繰返精度±2μmと高精度での測定が可能です。
使用製品レーザマイクロゲージLMGシリーズ
コイルの継ぎ目検出
透過型エッジセンサTD1で金属チューブに巻かれたコイルの継ぎ目を検出します。
チューブ部分は径が細く、コイル部分は径が太くなるのでその差で検出します。TD1は繰返精度が±5μmなので、コイルの有無でわずかな差しかなくても安定した検出が可能。また測定範囲が10mmなのでチューブ搬送時に多少のブレがあってもワークが視野から外れることなく検出することができます。
使用製品透過型エッジセンサTD1+CDA-DM2
エンドミル再研磨後の外径計測
エンドミルやドリルなどの切削工具を再研磨後、精度管理のために外径を測定します。
エンドミル測定器EMSシリーズを使用すれば、工具の外径・触れを同時に2秒ほどで測定可能。 偶数刃はもちろん奇数刃でも簡単に測定が行えます。
使用製品エンドミル自動測定器EMSシリーズ
ロール材の径の測定
ディスプレイ搭載レーザ変位センサOD1000シリーズで、ロール材の径の測定を行います。
測定距離最大1m、繰返精度0.4mmを実現したOD1000シリーズなら、長距離でも高精度測定が可能。径が大きいロール材でも、その巻き量/残量を正確に測定することができます。
使用製品ディスプレイ搭載レーザ変位センサOD1000シリーズ
円柱ワークの外径測定
円柱ワークの外径を透過型エッジセンサTD1で測定します。
TD1は測定範囲がMax.10mmですが、φ10mm以上のワークでも、TD1を2セット使用してアンプユニットで演算すれば測定が可能。 高額な寸法測定器を使用せずともローコストに外径測定が可能です。
使用製品透過型エッジセンサ/span>TD1シリーズ
自動車部品の大きさ判別
自動車部品の高さと径をレーザ変位センサCD5-85で測定することにより品種を判別します。
コントロールユニットのUQ1-01を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズと直接接続することができ、複数台のセンサの演算設定も簡単に行うことが可能です。
使用製品高性能レーザ変位センサCD5
プラスチック部品の溝幅測定
形状測定センサLS-100CNでプラスチック部品の溝幅を検査します。
幅測定が可能なLS-100CNなら、規定値以外の溝幅をNG品と判定することが可能。検査員によるノギスでの手計測を自動化でき、また抜き取り検査を全数検査にすることが可能です。
使用製品形状測定センサLS-100CN
ワイヤの径と位置の測定
ワイヤーの径と通過位置を形状測定センサLS-100CNでモニタします。
正しい径で製造されているかどうかを検査すると同時に左右のブレ量を巻取り装置にフィードバック。製品検査とブレ量フィードバックを同時に実現しています。
使用製品形状測定センサLS-100CN
帯鋼の厚みと幅測定
帯鋼の厚みをレーザ変位センサCD5-LW25で、幅を形状測定センサLS-100CNで測定することにより、厚みと幅を検査します。
CD5-LW25は0.02μm単位で厚みを測定でき、LS-100CNは25μm単位で幅を測定可能。帯鋼の幅と厚みの高精度検査を実現しています。
使用製品形状測定センサLS-100CN+CD5-LW25
パイプの内径計測
レーザ変位センサCD22シリーズでパイプの内径を測定します。
従来のレーザ変位センサではサイズが大きくパイプの内側に設置することができませんでしたが、奥行わずか31mmのCD22なら設置が可能。また3台設置して演算することにより、回転ブレによる誤差を補正することができるので、安定した計測が可能です。
使用製品コンパクトレーザ変位センサCD22
薄板コイルの径測定
CD5-W2000は2000±500mmと広い測定範囲をもちながら、繰返精度30μmで測定可能。薄板コイルの径(残量・巻き量)を高精度に測定することが可能です。
使用製品高性能マルチレーザ変位センサCD5-W2000
ウェハインゴット外形サイズ測定
ウェハインゴットの外形を検査します。CD5の安定測定機能Tri-COREにより、乱反射するウェハでも安定して測定可能です。
使用製品高性能マルチレーザ変位センサCD5-85
チャンバ内のトレイ膨張測定
スパッタ用加熱チャンバ内のトレイの膨張度合いを、レーザ変位センサCD33-250□でガラス越しに測定します。
CD33-250□はローコストにもかかわらず、繰返精度75μmで最大400mmまで測定可能。トレイの変形を正確に測定可能です。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33-250□
搬送物のサイズ検知
搬送物のサイズを測定し、サイズに見合った工程に搬送します。CD5-W2000なら距離2mで繰返精度40μmと高精度測定が可能です。
使用製品高性能マルチレーザ変位センサCD5-W2000