高さ・大きさ測定 / 半導体

ダイシングソーのフレ計測

ダイシングソーのフレ計測

ダイシングソーのフレをレーザ変位センサCDXシリーズで計測します。
スポット径φ30μmのCDX-30なら、ブレードの側面だけでなく幅の細い端面も測定可能。幅方向だけでなく高さ方向も高精度に計測することができます。

使用製品

超高精度レーザ変位センサ CDXシリーズ

詳しくはこちら