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HOME > 技術情報 > 変位センサ工程改善集 > 変位センサ工程改善集-たるみ測定

たるみ測定

マスクの移載たわみ測定
マスク移載する工程で高価なマスクを傷つけないよう、マスクまでの距離を測定し吸着ロボットを制御します。
C-MOSレーザ変位センサCD33なら正反射型もラインナップしているので透明マスクでも高精度に測定可能。マスクを傷めることなく移載することが可能です。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33
ループ制御
レーザ変位センサCD33でシート材のループ制御を行います。
長距離タイプのCD33-250N□なら最大400mmまでの測定が可能。大きくたるむラインでも高精度にループ制御を行うことが可能です。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33
フープ材のたるみ測定
金属の板をコイル状にまとめたフープ材のたるみを計測し、最適なテンションになるよう制御します。
レーザ変位センサCD22シリーズなら、反射光量の多い金属面でも安定した測定が可能です。
使用製品コンパクトレーザ変位センサCD22