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HOME > 技術情報 > 変位センサ工程改善集 > 変位センサ工程改善集-PLC簡単接続

PLC簡単接続

ウェハの姿勢計測
ロボットアームに載ったウェハの姿勢をレーザ変位センサCD33-L30で計測します。
CD33-L30は正反射型なので、ウェハのような鏡面体でも正確に姿勢を計測することができます。 またコントローラにUQ1-02を使用すれば三菱電機MELSEC-Qシリーズと簡単に接続可能。センサを複数台使用する場合の演算設定も専用設定ソフトウェア「UQ1 Navigator」により誰でもかんたんに短時間で設定することができます。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33+UQ1-02
接着剤塗布量検査
接着剤の塗布量をレーザ変位センサCD22で、接着剤のピークとワーク天面の高さの違いを測定することによりモニタします。
CD22用コントローラCDAシリーズとCC-Link通信ユニットUC1シリーズを使用すれば、CC-LinkでPLCと接続することが可能。またCDAの演算機能により、手間のかかる2台のセンサの測定値の演算も短時間で簡単に行うことが可能です。
使用製品コンパクトレーザ変位センサCD22+CDA+UC1
組付け高さ測定
レーザ変位センサCD22で部品の組付け高さを測定し、平行度を計測します。
CD22は非常にコンパクトにデザインされているので、狭い個所に複数台取り付けて測定する用途に最適。またアンプユニットのCDAを使用すれば2台のセンサの測定値の演算が簡単に設定でき、さらiQSS対応のUC1を使用すれば三菱電機製PLCのQシリーズ/LシリーズとのCC-Link通信を実現。iQSSによる測定値の取得、設定の読出し/書込み、バックアップ等を手間なく短時間で行うことが可能です。
使用製品コンパクトレーザ変位センサCD22+CDA+UC1
金属プレートの取付位置計測
レーザ変位センサCD22で、金属プレートが正しい位置に取り付けられているかどうかを計測します。
CD22用コントローラCDAシリーズとCC-Link通信ユニットUC1シリーズを使用すれば、CC-LinkでPLCと接続することが可能。PLCに三菱電機製のMELSEC-Qや-Lシリーズを使用すれば、iQSSによる測定値の取得、設定の読出し/書込み、バックアップ等を手間なく簡単に行うことが可能です。
使用製品コンパクトレーザ変位センサCD22
薄板の厚み確認
レーザ変位センサCD22で、振動がある装置での薄板の厚みを確認します。
搬送装置自体に振動があってもCD22を2台使用して装置と薄板を測定すれば、振動による誤差を最小限に抑えた測定が可能。また手間のかかる2台のセンサの測定値の演算も、CD22用コントローラCDAシリーズを使用すれば短時間で簡単に行うことが可能です。
使用製品コンパクトレーザ変位センサCD22
自動車部品の大きさ判別
自動車部品の高さと径をレーザ変位センサCD5-85で測定することにより品種を判別します。
コントロールユニットのUQ1-01を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズと直接接続することができ、複数台のセンサの演算設定も簡単に行うことが可能です。
使用製品高性能レーザ変位センサCD5
建材の突起位置計測
建材の突起部分の位置をレーザ変位センサCD33で計測します。PLCでサーボモータと連携させて建材の送り量から突起部の位置を計測します。
PLCが三菱電機製MELSEC-Qシリーズなら、変位センサコントロールユニットUQ1が使用可能。手のかかるはさみ込み測定時の演算設定も無償の設定ソフトUQ1 Navigatorにより、誰でも簡単に短時間で設定が行えます。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33+UQ1-02
金属フレームの反り測定
真空槽内の半導体金属フレームの反りをレーザ変位センサCD5-W500で測定します。
D5-W500の測定範囲は500±200mmなので、反りを長距離から測定することが可能です。またコントロールユニットのUQ1-01を使用すれば、三菱電機製MELSEC-Qシリーズと直接接続することができ、複数台のセンサの演算設定も短時間で行うことが可能です。
使用製品高性能マルチレーザ変位センサCD5-W500
薄板のつなぎ目検出
薄板のつなぎ目をレーザ変位センサCD5-W150で検出します。
センサヘッドAとBの測定値を演算してたわみの有無を計測し、たわみがなければAとCの測定値を演算してつなぎ目(段差)を検出します。
コントロールユニットのUQ1-01を使用すれば、三菱電機製MELSEC-Qシリーズと直接接続することができ、複数台のセンサの演算設定も簡単に行うことが可能です。
使用製品高性能マルチレーザ変位センサCD5-W150
給湯タンク溶接後のズレ量測定
レーザ変位センサCD33-120で、左右のパイプの溶接後に高さにズレがないかどうかを測定します。
コントロールユニットのUQ1-02を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズと直接接続することができ、2台のセンサの演算設定も簡単に行うことが可能です。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33+UQ1-02
ガラスのチッピングチェック
透明体が測定できる正反射型レーザ変位センサCD33-L85でFPD用ガラスのチッピングを検出します。
コントローラにUQ1-02を使用すれば三菱電機MELSEC-Qシリーズと簡単に接続可能。専用の設定ソフトUQ1 Navigatorを使用すれば変位センサの設定も短時間で行えます。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33+UQ1-02
アルミ材厚み測定
レーザ変位センサCD5-W500で、アルミ材の厚みを計測してトレーサビリティチェックを行います。
変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば、26万点以上のデータを記録できるストレージ機能を装備。またCSV出力も可能なので、トレーサビリティチェックを簡単に行うことが可能です。
使用製品高性能マルチレーザ変位センサCD5-W500
砥石の振れ計測
CD33-50N□なら距離50mmで繰返精度5μmで計測可能です。
またコントロールユニットのUQ1-02を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズと簡単に接続でき、センサを複数台使用する場合でも短時間で設定を行うことができます。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-02
マスク高さ制御とガラス基板厚み測定
正反射型の変位センサCD33-L30で、マスクの高さを制御するとともにガラスの厚みを測定します。
マスクまでの距離を測定し最適な高さに調整し、その後ガラス基板がその上を通過するときに厚みを測定します。透明度の高いガラス基板なら変位センサ2台で挟み込んで測定しなくても0.7mm以上の厚みを測定可能です。またUQ1を使用すればセンサを複数台使用する場合の演算設定も、専用設定ソフトウェア「UQ1 Navigator」により誰でもかんたんに短時間で設定することが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-01
液晶ガラス厚み検査
レーザ変位センサCD5-L25で液晶ガラスの厚みを測定します。ガラスの表面からの反射光と裏面からの反射光の2つを受光することにより、厚み測定が可能となります。また変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば、三菱電機製MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。
UQ1を複数台連結使用する場合でもユニット間赤外線通信"FIrST"機能により、別ユニットに接続された変位センサの測定値を最速100μsで高速演算することが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-01
ガラス基板の2枚送り判別
レーザ変位センサCD33-L30N□でガラス基板投入時の1枚/2枚を判別し、2枚送り時に基板が割れてしまうのを防止します。
バタツキのあるラインでも上下で挟み込んで測定することにより、安定した測定が可能。またコントロールユニットのUQ1-02を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズと直接接続することができ、演算設定も簡単に行うことが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-02
太陽光パネルの組み上げ精度の検査
太陽光パネルの組上げ精度をレーザ変位センサCD33-85N□を使用して検査します。
CD33-85N□なら距離85mmで繰返精度10μmで検査が可能。またコントロールユニットのUQ1-02を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズと簡単に接続でき、センサを複数台使用する場合の設定も短時間で行うことができます。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-02
石膏ボードの厚み測定
石膏ボードの厚みをレーザ変位センサCD5-30で検査します。
コントローラにUQ1-01を使用すれば、三菱電機製MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。専用ソフトでラクラク設定することが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-01
金属柱の切断長測定
レーザ変位センサCD5-W2000でアルミフレームの送り量を測定し切断長を制御します。
CD5-W2000なら測定範囲±500mmとロングレンジ測定が可能なのでアルミフレームのような長さのあるものでも充分測定が可能です。また変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。変位センサの通信設定等は一切不要なので設定を短時間で簡単に行うことが可能です
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-01
コイラー始端検出
レーザ変位センサCD5-85で薄板コイル内側の薄板先端部分を段差により検出し、製品ラベルを貼ります。
CD5-85なら繰返精度1μmでの測定が可能なので、薄板のわずかな段差も逃さず検出することが可能です。また変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。ラダーやPLCの知識がなくても、専用ソフトにより変位センサの設定を短時間で行うことが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-01
鉄板傾き測定
レーザ変位センサCD5-W2000で鉄板の傾き量を測定し、レーザマーキングを行います。
D5-W2000なら2000mmの長距離測定が可能なので、鉄板が高温の場合でも遠距離から測定することにより輻射熱の影響が少ない測定が可能です。また変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。
変位センサが2台でも演算・判定までを100μs周期で更新できる上、UQ1が全処理を行うため、シーケンサCPUへの負荷がかかりません。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-01
ガラス基板の高速倣い制御
レーザ変位センサCD5-30と変位センサコントロールユニットUQ1により10msごとのデータ保存をし、ガラス基板の倣い制御を行います。
UQ1を使用しない通常のPLCとのシリアル通信では、CPUのスキャンタイムによりサンプリング間隔が不安定になってしまいますが、三菱電機製MELSEC-Qシリーズと接続可能なUQ1を使用すれば、そのストレージ機能により確実にデータサンプリングが可能。安定した倣い制御を実現します。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-01
露光ヘッドZ軸制御
正反射型のレーザ変位センサCD33-L30で露光ヘッドのZ軸アライメントを行います。
CD33は小型・軽量設計なので可動する露光ヘッドに取り付けても負荷が小さく、ヘッドの動きを妨げないアライメントが可能です。また変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。ラダーやPLCの知識がなくても、専用ソフトにより変位センサの設定を短時間で行うことが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-02
基板の高さ測定
基板の厚みをレーザ変位センサCD33で測定します。
高さ方向に設置スペースがないのでミラーでレーザ光を90°曲げて測定を行います。
変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば、三菱電機MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。レーザを曲げて測定する場合は光軸調整に時間がかかりますが、受光波形の表示を見ながら調整できるので短時間で調整を終えることが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-02
基板研磨時の厚み測定
レーザ変位センサCD33-50□で基板の厚みを測定することにより、研磨機に研磨量を正確にフィードバックします。
コントロールユニットのUQ1-02を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズと直接接続することができ、2台のセンサで測定時の演算設定も簡単に行うことが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-02
金属部品のチャックミス防止
レーザ変位センサCD33-85N□でロボットアームを測定しチャックミスを防止します。
部品をチャックしていなければ、その分アームの幅が薄くなるのでその差で検出します。また三菱電機製MELSEC-Qシリーズに接続可能なUQ1シリーズを使用すれば、手間のかかるラダーを組む必要がないので、短期間での導入が可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-02
膜付ウェハ厚み測定
レーザ変位センサCD5-L25で膜付ウェハの厚みを測定します。
変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば、三菱電機MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。見やすく使いやすいユーザインターフェイスにより、ラダーやPLCの知識がなくても設定を短時間で行うことが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-01