膜付ウェハ厚み測定

レーザ変位センサCD5-L25で膜付ウェハの厚みを測定します。
変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば、三菱電機MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。見やすく使いやすいユーザインターフェイスにより、ラダーやPLCの知識がなくても設定を短時間で行うことが可能です。