基板の高さ測定

基板の厚みをレーザ変位センサCD33で測定します。
高さ方向に設置スペースがないのでミラーでレーザ光を90°曲げて測定を行います。
変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば、三菱電機MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。レーザを曲げて測定する場合は光軸調整に時間がかかりますが、受光波形の表示を見ながら調整できるので短時間で調整を終えることが可能です。