基板の2枚送り検出

従来は変位センサ2台で上下に挟み込んで厚みを演算していましたが、センサをシビアに取り付けなければならないうえ、吸着アームと接触する場合がありました。
LSシリーズなら横方向から1台で測定できるため、かんたん取付けが可能。また2台のセンサの測定値を演算する必要もないのでラクラクと導入することができます。