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HOME > 技術情報 > 光電センサ工程改善集 > 光電センサ工程改善集-フープ内のウエハの有無・飛出し・傾き検出
フープ内のウエハの有無・飛出し・傾き検出
ウエハの有無・飛出し・傾きをBGS-HDLシリーズ2台で検出します。
BGS-HDLシリーズは制御出力を2系統装備しているので、出力1でウエハの有無、出力2で飛出しを検出可能。ウエハの傾きは、左右センサの出力1のON/OFFタイミングで判定することが可能です。
使用製品高精度C-MOSレーザセンサBGS-HDLシリーズ