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HOME > 技術情報 > 変位センサ工程改善集 > 変位センサ工程改善集-FPD・PV業界

FPD・PV業界

スマートフォンのフレームの高さ測定
スマートフォンのパネル組付け精度をレーザ変位センサCDXシリーズでモニタします。
反射型のCDX-L15なら、±1μmの精度で測定可能ですので、わずかな浮きも組付け不良となるような用途でも余裕を持ってお使いいただけます。
使用製品超高精度レーザ変位センサCDXシリーズ
ガラス基板のソリ測定
レーザ変位センサCDXシリーズでガラス基板のソリを測定します。
正反射型のCDX-L15なら、透明なガラス基板でも0.01μm単位でソリを測定可能。またサンプリング周期はMax.12.5μsと高速測定が可能ですので、従来機種比で8倍の高速サンプリングを実現しています。
使用製品超高精度レーザ変位センサCDXシリーズ
シート材の蛇行制御と幅測定
シート材の幅を形状測定センサLSシリーズで測定します。
右端と左端に1台ずつ設置し、それぞれの測定値をPLCで演算すれば蛇行量や幅を求めることができます。しかもLSシリーズは反射型なので透過型が設置できない場所での測定が可能。従来では取付ができなかった個所での測定が可能です。
使用製品形状測定センサLS-100CN
ガラスのチッピングチェック
透明体が測定できる正反射型レーザ変位センサCD33-L85でFPD用ガラスのチッピングを検出します。
コントローラにUQ1-02を使用すれば三菱電機MELSEC-Qシリーズと簡単に接続可能。専用の設定ソフトUQ1 Navigatorを使用すれば変位センサの設定も短時間で行えます。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33+UQ1-02
液晶ガラスの厚み測定
正反射型のCD5-L25ならガラス表面までの距離ではなく、ガラスの厚みも安定して測定可能です。
使用製品高性能マルチレーザ変位センサCD5-L25
太陽電池基板の平衡度・厚み測定
正反射モードを搭載したCD5-W85なら透明な太陽電池基板を高精度に測定可能。またアンプの演算機能を使用すれば、手間のかかる平衡度や厚みの演算設定を短時間で簡単に行うことが可能です。
使用製品レーザ変位センサCD5-W85+CD5A-N
ガラス板のうねり量計測
レーザ変位センサCD5-W85を複数台使用し、透明なガラス板のうねり量を測定します。
CD5-W85は透明体も測定できる正反射型モードを搭載しているので、ガラス板でもうねりや厚みを高精度に測定可能です。
またアンプの演算機能を使用すれば、手間のかかる多点計測の演算設定も短時間で簡単に行えます。
使用製品レーザ変位センサCD5-W85+CD5A-N
透明フィルムの厚み測定
透明フィルムやシート材の厚みをレーザ変位センサCD5-LW25で測定します。
フィルムやシート材が透明であっても繰返精度0.02μmと高精度で測定可能。
2台のセンサヘッドを対向設置し演算設定を行うことで、安定した測定が行えます。
使用製品レーザ変位センサCD5-LW25
二次電池の電極板の厚み測定
正反射モードを搭載したレーザ変位センサCD5-W85なら、光沢のある電極板でも高精度に測定可能。
またアンプの演算機能を使用すれば、手間のかかる厚みの演算設定を短時間で簡単に行うことができます。
使用製品レーザ変位センサCD5-W85
ガラス表面検査カメラのフォーカス
ガラス表面検査用カメラのフォーカス用にレーザ変位センサCD5-W30を使用します。
CD5の正反射モードなら、ガラス表面と裏面を正しく分離可能。ガラス表面までの距離を正確に計測することで、カメラを正確にフォーカスさせることが可能です。
使用製品レーザ変位センサCD5-W30
液晶ガラスの歪み測定
レーザ変位センサCD5-L25で液晶ガラスの歪み計測を行います。
正反射型のCD5-L25なら透明ガラスでも繰返精度0.02μmで測定可能。各変位センサのピーク値とボトム値を演算することにより、歪み量の高精度測定を実現します。
使用製品高性能レーザ変位センサCD5
太陽光パネルの風圧変形試験
太陽電池パネルの風圧試験装置で、負荷をかけたときのパネルの歪みをレーザ変位センサCD33-250N□で測定します。
CD33-250N□なら距離400mmまで、繰返精度75μmで測定可能。パネルの歪みを長距離から正確に測定することが可能です。また標準価格も98,000円と非常に低価格なので、装置のローコスト化を可能にしています。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33
マスクの移載たわみ測定
マスク移載する工程で高価なマスクを傷つけないよう、マスクまでの距離を測定し吸着ロボットを制御します。
C-MOSレーザ変位センサCD33なら正反射型もラインナップしているので透明マスクでも高精度に測定可能。マスクを傷めることなく移載することが可能です。
使用製品C-MOSレーザ変位センサCD33
マスク高さ制御とガラス基板厚み測定
正反射型の変位センサCD33-L30で、マスクの高さを制御するとともにガラスの厚みを測定します。
マスクまでの距離を測定し最適な高さに調整し、その後ガラス基板がその上を通過するときに厚みを測定します。透明度の高いガラス基板なら変位センサ2台で挟み込んで測定しなくても0.7mm以上の厚みを測定可能です。またUQ1を使用すればセンサを複数台使用する場合の演算設定も、専用設定ソフトウェア「UQ1 Navigator」により誰でもかんたんに短時間で設定することが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-01
液晶ガラス厚み検査
レーザ変位センサCD5-L25で液晶ガラスの厚みを測定します。ガラスの表面からの反射光と裏面からの反射光の2つを受光することにより、厚み測定が可能となります。また変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば、三菱電機製MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。
UQ1を複数台連結使用する場合でもユニット間赤外線通信"FIrST"機能により、別ユニットに接続された変位センサの測定値を最速100μsで高速演算することが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-01
ガラス基板の2枚送り判別
レーザ変位センサCD33-L30N□でガラス基板投入時の1枚/2枚を判別し、2枚送り時に基板が割れてしまうのを防止します。
バタツキのあるラインでも上下で挟み込んで測定することにより、安定した測定が可能。またコントロールユニットのUQ1-02を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズと直接接続することができ、演算設定も簡単に行うことが可能です。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-02
太陽光パネルの組み上げ精度の検査
太陽光パネルの組上げ精度をレーザ変位センサCD33-85N□を使用して検査します。
CD33-85N□なら距離85mmで繰返精度10μmで検査が可能。またコントロールユニットのUQ1-02を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズと簡単に接続でき、センサを複数台使用する場合の設定も短時間で行うことができます。
使用製品変位センサコントロールユニットUQ1-02
太陽電池基板の搬送停止位置測定
シリコン基板の停止位置(X方向)をLSで測定することにより受取装置側に正しい位置情報を転送できるので、工程間の受け渡し時のシリコン基板の割れを防止します。
使用製品形状測定センサLSシリーズ