ウェハの2枚重なり検出

2枚シート検出センサUD18-22CC241でウェハの2枚重なりを検出します。
クリーニングプロセスにおいて、ウェハは薄く軽量なので互いに貼りついてしまいますが、UD18-22CC241はウェハの1枚/2枚を確実に判別可能です。超音波式で判別するので、バタツキの影響を受けない安定した判別を実現しました。