透明体検出・測定 / 半導体

修正装置用顕微鏡のフォーカス

修正装置用顕微鏡のフォーカス

レーザ変位センサCD33-L30でガラス基板までの距離を測定し、顕微鏡の焦点合わせを行います。
CD33の繰返精度はわずか1μm 。ローコストでの焦点合わせを実現します。

使用製品

C-MOSレーザ変位センサ CD33シリーズ

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