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CD33
変位センサコントロールユニットでMELSEC-Qシリーズに接続可能
別売の変位センサコントロールユニットUQ1-02で、三菱電機PLCシーケンサMELSEC-Qシリーズを簡単に接続できます。
CD33シリーズの測定値取得・演算・判定が最速500μs周期で行えます。
CD33とUQ1-02
鏡面体や透明体の測定用に正反射型を新たにラインナップ
ワークがガラス等の透明体の場合やウェハ等の鏡面体でも測定が可能な正反射型を新たにラインナップ。
拡散反射型では測定が困難な透明体・鏡面体でも、安定した測定が可能になりました。
■ マスク高さ制御とガラス基板厚み測定マスク高さ制御とガラス基板厚み測定
厚み測定も可能
透明体を測定する場合、正反射型では表面の変位量だけでなく、厚みも測定することが可能です。
下図のようにレーザ光を斜めに照射すると、ガラスの表面からと裏面からの2つの反射光が受光素子上に発生します。
この2つの反射光のピーク間を測定することにより、厚みが測定可能となります。
厚み測定も可能
RS-422通信タイプ 種類・標準価格

種類 測定距離 繰返精度 アナログ出力・
通信機能
制御出力 型式
( )はコネクタ式

拡散反射型
(クラスレーザ2)
2μm
(4μm※)
RS-422 1ch CD33-30N-422
(CD33-30CN-422)
5μm
(8μm※)
CD33-50N-422
(CD33-50CN-422)
10μm
(15μm※)
CD33-85N-422
(CD33-85CN-422)
30μm
(45μm※)
CD33-120N-422
(CD33-120CN-422)
75μm
(100μm※)
CD33-250N-422
(CD33-250CN-422)

正反射型
(クラスレーザ1)
1μm
CD33-L30N-422
(CD33-L30CN-422)
2.5μm CD33-L50N-422
(CD33-L50CN-422)
5μm CD33-L85N-422
(CD33-L85CN-422)

※( )は応答時間Fast時の繰返精度です。
●PNP出力タイプは、型式末尾のNがPに変わります。 例)CD33-30NA→CD33-30PA、CD33-120NV→CD33-120PV



CD33シリーズ詳細
UQ1シリーズ詳細