IO-Linkで現場の課題を解決

～圧力・流量センサ接続の最適解～

今まであきらめていた・・・
こんな課題はございませんか？

解決実績

流量センサの正確なデータ収集

FPD 製造装置の初期設定時、アナログ流量センサは、A/D 変換時に変換誤差が発生するため、微調整や校正に多くの工数がかかってしまいます・・・。

オプテックス・エフエーのIO-Linkマスタ URシリーズを活用すると、A/D変換時に発生する誤差の微調整や校正を行う必要がなく、値0もかんたんに取得できます。

なぜならば

IO-LinkマスタURシリーズのココが優れています

• 正確計測
• デジタル通信のためノイズの影響なし！
• 工数削減
• A/D変換時の誤差に対し、微調整や校正が不要！
• 校正不要
• 装置立ち上げ工数の削減。
  だから限られた時間を有効活用できる！

圧力・流量センサのかんたん設定

半導体製造装置には複数の圧力センサや流量センサが使用されているため、センサ本体のディスプレイやスイッチを使用した設定は、どうしてもミスや漏れが発生してしまいます・・・。

オプテックス・エフエーのIO-Linkマスタ URシリーズを使用すると、センサの小さなディスプレイ、スイッチを使用する必要はありません。

さらに

IO-LinkマスタURシリーズのココが優れています

• かんたん設定
• ボタンによるパラメータ個別設定不要。
  だから設定ミス削減に！
• 誤配線/断線検知
• どこで誤配線/断線が起こっているかすぐに分かる。
  だから、すぐに駆け付けられる！
• 多点/分散IO制御
• NPN/PNP入力機器の混在接続可能。
  余ったchも有効活用できる！