マスクの異物検査

マスクの異物を検査します。
高輝度バー照明OPBを2台使ってマスク表面の異物の有無を検査します。ローアングルから照射するとマスク表面の凹凸が強調されて異物と区別できません。ハイアングルから照射することで、様々な角度から均一に照射でき、マスクの凹凸の影響を抑えて異物のみを抽出可能です。