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シリコンウェハの乗り上げ検出
シリコンウェハのステージへの乗り上げをBGS-HDLシリーズで検出します。
乗り上げた場合、高さが最大で5mm程度変化しますが、BGS-HDLシリーズなら0.08㎜の段差でも高精度に検出することが可能です。
使用製品高精度C-MOSレーザセンサBGS-HDLシリーズ

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