透明ワークを安定検出

偏光フィルタ内蔵タイプと狭視界タイプ
ガラスやフィルム等の表面からの反射光の影響を受けにくい偏光フィルタ内蔵のNF-RR01と狭視界設計のNF-RB01（ヘッドON）とNF-RB02（サイドON）。用途にあわせてお選びいただけます。

回帰反射型でウェハマッピング

超薄型のファイバユニットと反射ミラー
厚さはわずか2mmの極薄設計。配線工数の多い透過型でしかできなかったウェハマッピングを、回帰反射型で可能にしました。もちろん省スペースのサイドビュー型ですので、ファイバケーブルの取り回しも楽に行えます。